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    20261-20
    功率放大器在UV-CMP抛光机中的应用

    UV-CMP抛光机有两种工作模式：连接超声振动信号和关闭超声振动信号接入。UV-CMP抛光机的设备工作步骤如下：第一，超声信号发生器生成一定频率和波形的电信号；第二，超声电信号传输给功率放大器，使电信号达到超声转换装置工作的电压和功率；第三，放大的电信号传输给超声转换装置，使得超声电信号转换成同频率的机械振动。经过上面的三个步骤，CMP抛光机升级为UV-CMP，传统的化学机械抛光也升级为超声振动辅...

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